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LB技术制备的ZrO2纳米薄膜摩擦学行为

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摘要

在单晶硅表面制得花生酸锆Langmuir-Blodgett薄膜,对该薄膜在500°C条件下热处理30min,得到致密ZrO2薄膜.利用AFM,XPS,SEM对其结构和形貌进行表征,摩擦磨损试验结果表明,利用该方法制备的ZrO2薄膜表现出良好的减摩抗磨性能.

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来源
《2006全国摩擦学学术会议》|2006年|82-8386|共3页
会议地点哈尔滨
作者
张晓峰; 叶滨; 戴树玺; 杜祖亮; 张平余;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类摩擦与磨损;薄膜中的力学效应;
关键词
ZrO2纳米薄膜; LB薄膜; 摩擦学行为; 单晶硅; 减摩抗磨性能;

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