MEMS技术在微小型探测系统中的应用

摘要

微机电系统(Microelectromechanicalsystem)是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术,目前,其研究领域已扩展到了射频与微波领域,并有继续向毫米波频率扩展的趋势.本文结合RFMEMS技术研究的最新进展,研究了如何利用最新的RFMEMS技术设计微小型探测系统,以实现探测系统的小型化、低功耗和高性能.