基于半导体制冷器的激光功率测试仪的研究

摘要

基于半导体制冷器的激光功率测试仪利用黑体接受入射激光能量,并将其转化为热量,采用帕尔贴器件将热转换成电流,实现光功率的测量.整个能量转换系统由温控电路、半导体致冷器、黑体、热敏电阻组成,能快速转化光能,测头能承受较大功率的激光照射.测头内,两个串联的半导体致冷器使半导体致冷器冷热端温度稳定在室温下.在双层温度控制电路中,采用比例积分调节器和积分分离方法,因此系统能快速达到稳定状态.此激光功率测试仪具有无波长依存性、响应速度快、线性度好、体积小、成本低和可实现较大功率范围测量等优点.