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薄膜电子式电/气转换机构气场数学模型及其验证

摘要

为一种薄膜电子式电/气转换机构划分了工作状态,分别建立了气场模型,并以实验手段进行了验证.在转换机构的工作区间内,理论模型和实际工作状态吻合良好,从而为机构参数优化和进一步提高工作稳定性提供了理论依据.

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