基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统

摘要

本文介绍了北京航空航天大学微机械传感技术实验室实现的一种微振动测试分析系统.该系统以Polytec激光测振仪为核心,配置其他相关辅助仪器,实现了对微结构传感器系统频率特性的测试.文中给出了该测试分析系统中采用的先进新颖的测试分析方法.该测试分析方法充分考虑了谐振式硅微结构传感器频率特性(谐振频率和品质因数)的测试的特殊性,提供了一种实时动态的测试方法:以线性调频信号为激励、线性调频Z变换(CZT)为频谱分析手段,克服了常用的频率扫描方法在测试精度和效率上相矛盾的实际问题,并能保证在所分析的频率范围内,实现谐振敏感结构完整的频率特性测试.使整个测试系统在测试效能上有了质的提高,为谐振式微结构传感器的研制提供了重要的技术保障.