TiO<,2>薄膜型氧敏元件的研究

摘要

利用溶胶-凝胶技术制备了氧化物掺杂TiO<,2>薄膜型氧敏元件,研究了薄膜元件的阻温特性和氧敏特性等.实验结果表明,W、Ce氧化物的掺杂促进TiO<,2>薄膜表面微量氧化还原反应进行,增加表面活性.使氧气灵敏度得到明显提高.通过贵金属的表面修饰,使氧敏元件的阻温特性有明显的改善,尤其响应速度提高更为显著,氧敏元件有很好的抗老化性.