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体硅MOEMS光开关的研究

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本文阐述了MOEMS光开关的特点、市场前景以及国内外研究现状.介绍了采用体硅微机械加工的方法在(100)硅片和(110)硅片上制作微反射镜,以及两种制作方法的特点,提出了降低扭臂驱动结构的驱动电压的方法.

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来源
《第十届全国光电技术与系统学术会议》|2003年|1534-1542|共9页
会议地点长沙
作者
董玮; 张歆东; 刘彩霞; 张爽; 孙东明; 贾翠萍; 潘建旋; 陈维友;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类集成光学器件;
关键词
光开关; 各向异性腐蚀; 微反射镜;

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