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利用光阱技术实现微细加工的理论与实验研究

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利用几何光学模型对激光势阱中的5至10微米的高强度微粒子(如金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析,并对其进行计算机仿真.同时建立了实验装置,实现了对球型粒子及不规则粒子的操纵,获得了表面加工痕迹.通过实验分析确定最佳加工条件(如激光功率和加工基底参数).

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来源
《第十届全国光电技术与系统学术会议》|2003年|473-479|共7页
会议地点长沙
作者
王晓娜; 白剑; 侯西云; 杨国光;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光的应用;
关键词
激光势阱; 微粒子; 微加工; 光阱技术;

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