室温微测辐射热计线性阵列的设计与制作

摘要

对微测辐射热计的微桥结构进行了优化设计.采用多晶锗硅Poly-Si<,0.7>Ge<0.3>薄膜电阻作为微测辐射热计的探测敏感元件,结合微机械加工技术制作了8×1微测辐射热计线性阵列,制作工艺温度小于650°C,微桥桥面面积为100μm×100μm,由两臂支撑,支撑臂的长L和宽W分别为200μm和8μm.