高纯AIN及复合AI-AIN纳米粉末的制备及热处理

摘要

利用直流电弧等离子体方法，分别在氮气和氮气－氨气反应气氛中制备出复合Ａｌ－ＡｌＮ和高纯ＡｌＮ纳米粉末。