发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究

摘要

空气过滤材料的过滤性能是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一.本研究选取了发泡海绵过滤防尘网作为研究对象,对其微观结构进行了分析.同时设计并开发了空气过滤材料过滤性能测试装置,对发泡海绵过滤防尘网的过滤性能进行了实验研究.研究结果表明:随着孔隙率的降低和过滤速度的降低,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加;而随着相对湿度的增加,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加.