小型高压重频微秒脉冲电源及放电应用

摘要

等离子体技术因其独特的性质取得广泛的应用,而脉冲功率技术在产生等离子体方面有独特的优势.不同的应用对于脉冲功率源有着不同的需求,本文针对一些放电等离子体方面的需求,研制了一种高压微秒脉冲电源,输出电压幅值30kV并连续可调,频率在0～10kHz可调,上升沿500ns、脉宽1μs.并在大气压空气中使用针针放电对电源做了相关测试,不同的输入电压、不同触发脉宽以及不同的频率对于电压幅值有一定的影响,针对不同的间隙有着不同的放电模式.并初步把电源应用于DBD,能很好的产生低温等离子体.