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铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4)薄膜太阳电池材料的共溅射制备工艺研究

摘要

本文利用二元硫化物靶材,通过三靶共溅射的方法制备Cu-Zn-Sn-S预制层,并将研究制备工艺及热处理条件对薄膜光电性能的影响.此方法有利于实现薄膜总体的均匀性和理想的元素配比,并可精确地控制薄膜沉积速率,得到均匀性更好的且致密性更高的CZTS吸收层.

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