采用皮秒激光与纳秒激光实现硅片钻孔的对比分析

摘要

激光具有方向性好、能量集中、非接触性等优点,是现代精细加工的重要工具之一.激光钻孔是制作高效MWT电池的关键技术.由于不同脉冲长度的激光与硅片作用的效果不同,本文采用皮秒激光和纳秒激光分别实现硅片钻孔,分析两种激光打孔的形貌特征、损伤情况以及所形成微孔锥度差别.皮秒激光钻孔对硅片损伤小,孔壁光滑并且形成微孔锥度小,适用于MWT加工.