ECR-PLA铝/氮等离子体特性的光谱研究

摘要

本工作利用时间和空间分辨的等离子体光谱测量和分析方法研究了对Al靶烧蚀产生的PLA铝等离子体和对N2气ECR微波放电产生的ECR氮等离子体之间的相互作用和由此形成的ECR-PLA铝/氮等离子体的特性，并与PLA铝等离子体在低气压N2气中膨胀过程进行了比较。结果表明，瞬变的PLA等离子体在连续稳定的ECR等离子体中高速膨胀时两者之间的相互作用导致它们彼此间的延续激发和激发增强，使得形成的ECR-PLA等离子体具有很高的激发度和活性。