活性屏离子渗氮技术基础及应用研究现状

摘要

活性屏离子渗氮(ASPN)技术解决了传统离子渗氮(DCPN)技术一直存在工件打弧、电场效应、空心阴极效应、工件温度测量困难、大小工件不能混装、对操作人员技术水平要求高等技术难题,具有较高的推广应用价值。本文简要论述了近几年国内外对ASPN技术的基础研究与工业化研究的现状,并介绍了中国ASPN技术研发的成果。提出加在工件上的负偏压值是ASPN能否实现均匀渗氮的关键，而且ASPN技术的研究一定要在大直径的笼子内进行。