粒子碰撞噪声检测仪校准与测量不确定度评定

摘要

粒子碰撞噪声检测仪是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,用于检测封装器件内的多余粒子.本文在分析粒子碰撞噪声检测仪测试原理的基础上,给出了校准方法.并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定.对于解决粒子碰撞噪声检测仪的校准和量值溯源问题，具有一定借鉴作用。