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高压气固反应床制备氮化铬纳米粉体研究

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采用特殊液相沉淀法制备氢氧化铬前驱体纳米粉体为原料,并首次用高压气固反应床制备CrN纳米粉体,在650-850℃,压强为0-0.6MPa时,氨解2～4小时,制备高纯CrN纳米粉体,通过体用透射电镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等方法进行了表征.研究了系统压力对氨解温度和氨解时间的影响,结果表明;用高压气固反应床制备的CrN纳米粉体需650℃,压强为0.6MPa时,氨解2小时,制得高纯CrN纳米粉体,粒径为40～60nm.

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来源
《2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会》|2013年|82-86|共5页
会议地点大连
作者
李晓奇; 王开明; 贾红宝; 葛牧;
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作者单位

中国半导体行业协会;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
氮化铬; 纳米粉体; 高压气固反应床; 性能表征;
入库时间 2022-08-17 10:43:47

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