碳膜厚度对电子探针定量分析的影响及校正研究

摘要

电子探针是精确测定矿物主量元素的最常用现代分析技术之一,其样品多为不导电的岩石矿物薄片、样品靶.为了避免因电子束轰击样品造成电子在样品表面积聚而引起的样品充电,在实验前需要先给样品镀上导电薄膜(通常是碳膜）.碳膜厚度增大，元素的特征X射线强度下降，且碳膜厚度对轻元素的测试至关重要。