高性能Ga2O3日盲探测器的制备

摘要

太阳光辐射在通过大气层的过程中,小于280nm的紫外光波段会被强烈吸收过滤掉,形成'日盲区'.日盲探测器在正常工作时几乎不受太阳干扰,具备先天的抗干扰的能力.此前，研究组已经经报道了关于氧化镓薄膜的生长以及基于该薄膜探测器的制备和性能参数研究。为了进一步提高氧化镓日盲探测器的性能，本研究通过优化生长过程，在蓝宝石衬底上外延生长高质量的氧化镓薄膜，从而制备出更为高效的氧化镓基日盲探测器。通过XRD，吸收光谱来表征外延薄膜;进一步通过光暗电流测试，光响应度测试以及全光谱电流响应来对氧化镓基日盲探测器的各项参数进行表征。