多晶硅生产设备用316H管件失效分析

摘要

利用化学成分分析、金相、SEM和EDX等方法，分析了多晶硅生产设备中管件废气处理装置用316H不锈钢钢管的失效原因,包括材料的化学成分、低倍组织、显微组织、腐蚀产物成分和裂纹形貌等。由实验结果可知，316H不锈钢的化学成分符合标准,但钢管固溶处理不充分,且纵切面存在B类夹杂物等级大于3.5级。酸洗后316H管件外壁存在很多肉眼可见的宏观裂纹,是管件失效泄露的主要原因。裂纹为沿晶应力腐蚀裂纹,由外壁向内壁扩展，裂纹处发生了氧化，裂纹处的能谱显示有大量Cl-的存在。分析了316H管件的失效机制并针对上述应力腐蚀问题提出了相应的改进措施。