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新兴工业材料加工用金刚石工具

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本文简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述.

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来源
《第9届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会》|2015年|1-5|共5页
会议地点辽宁通辽
作者
刘一波; 徐良;
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作者单位

中国材料研究学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类一般性问题;
关键词
单晶硅; 多晶硅; 蓝宝石; 金刚石工具; 加工工艺;

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