基于聚合物光波导的F-P干涉型传感器件研究

摘要

本文设计并制作了一种基于聚合物光波导的Fabry-Perot(F-P)干涉型传感器件.在SiO2衬底上,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导两侧包层,SU-82005紫外负性光刻胶作为波导芯层,采用传统的半导体制备工艺完成了器件的制备.同时,用光学显微镜对聚合物光波导、微流控通道以及储液池的表面形貌进行了表征.通过向微流控通道内注入牛血蛋白溶液,并采用基于Laboratory Virtual Instrumentation Engineering Workbench(LabView)的集成光波导器件自动测试系统对器件进行了测试,测得器件在滴加牛血白蛋白溶液前后有约5dB的光功率变化,同时对器件的稳定性能进行了测试,测试结果表明,该器件具有较好的稳定性.