泛制造中微纳测试技术

摘要

现代制造的内涵和外延得以大大拓展,从利用效应角度可包括物理制造、化学制造、生物制造等,从涵盖过程角度可包括产品的设计、生产、销售、使用、维护等,适时引入泛制造的概念将有助于跨学科认识和改造世界的发展.随着现代科学技术的飞速发展,人类认识和改造世界的层次已延伸到微纳尺度,甚至单分子水平,这给发展相应的测试技术带来了众多挑战.本文针对泛制造背景下新材料、薄膜和图形化微结构的微纳尺度几何量和机械量测试需求,重点介绍了精密测试技术及仪器国家重点实验室近年来在扫描探针显微技术、显微干涉技术、反射光谱技术及X射线显微成像技术方面的研究进展.