国内首款量产平板式ALD Al2O3设备

摘要

理想能源设备公司简介成立时间:2009年8月28日愿景与定位:国际领先的清洁能源与节能领域高端装备研发与创业公司理想能源在高效太阳能电池、LED核心生产设备等领域成功开发高端装备产品,打破国际巨头垄断,进入国内主流客户。晶硅电池的发展路线，Al2O3钝化镀膜在PERC电池的背表面钝化以及N型电池的前表面和背表面钝化上都可以应用，不需要改变设备，Al2O3背钝化效应来源于：通过与表面Si原子形成Si-H键减少Si晶表面缺陷密度Al2O3材料表面较高密度负电荷形成“场效应”，减少硅表面少子密度。采用ALD形式成膜，减少TMA用量，同时保证更加优异的电池效率提升.低压下沉积，粉尘少，维护周期长.绕镀少.TMA耗量低，无微波管，运营成本低.模块化设计，可以根据客户需求灵活配置.适用于N性电池正面钝化。