反应烧结碳化硅在加工Z轴过程中的难点及解决办法

摘要

碳化硅具有各种优异的性能,如超硬耐磨、高热导率和机械强度、低热膨胀系数、耐化学腐蚀、高稳定性、有用的电阻特性等.碳化硅是所有非氧化物陶瓷中抗氧化性能最好的一种.以上的性能使得碳化硅作为一种结构材料广泛地应用于磨损、高温、高压、腐蚀等严酷条件下的工业领域,如机械密封件、航空发动机燃烧室等[1-3].近年来,在精密测量领域碳化硅也有了广泛应用,例如,三坐标测量机Z轴、平尺、方尺等.用反应烧结工艺制备的反应烧结碳化硅,秉承了碳化硅陶瓷的所有优点,包括强度高、硬度高、抗震性好、耐磨性和耐腐蚀性好、导热系数高、膨胀系数低、抗氧化性能优异、气孔率低,是一种性能优良的高技术陶瓷材料.但是,碳化硅陶瓷加工难度非常大,加工过程也很复杂,要想制造碳化硅陶瓷产品,需要解决大量的技术难题.本文对反应烧结碳化硅在加工Z轴过程中存在的技术难点进行了分析,并提出了部分解决办法.