大行程微/纳表面测量与表征系统及其关键技术

摘要

微/纳米测量与表征是生物、医学、材料、力学和物理等学科重要研究内容.但现有测试仪器测量范围小且仅能实现单参数的测量,需要多台仪器联合的多次测量才能实现材料性能的完整表征.该种测量方法不仅费时费力,而且多次测量使得数据相关性较差,成为制约微/纳工程表面测量与表征实际应用的关键瓶颈问题之一.本项目旨在密切结合微/纳工程表面测量与表征的需求,开发拥有高精度、大行程特点的新型多功能探针型显微测量系统.