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六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势

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六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成线路的干法刻蚀方面.本文介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较.根据HFBD合成工艺的不同,精制提纯的方法也不同.针对不同杂质采用不同的纯化方法,将低温精馏、冷凝冷冻、选择性吸附等提纯技术联用,有望得到高纯HFBD气体.

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来源
《全国特种气体第十八次年会》|2014年|53-58|共6页
会议地点浙江萧山
作者
XU Jiao; 徐娇; HE Shuangcai; 何双材; HU Kin; 胡欣; QI Hai; 齐海; ZHANG Jinke; 张金柯; BAI Zhanqi; 白占旗;
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作者单位

全国特种气体信息站;

中昊光明化工研究设计院有限公司;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种气体;
关键词
六氟-1,3-丁二烯; 纯化工艺; 刻蚀性能; 电子产品;
入库时间 2022-08-17 10:36:18

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1. 六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势 [J] . 徐娇 ,何双材 ,胡欣 . 低温与特气 . 2014,第006期
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