Ga-As-Sb-C-H五元系热力学分析与Ga(As,Sb)MOVPE工艺设计

摘要

Ｇａ（Ａｓ，Ｓｂ）半导体金属有机物气相外延，涉及Ｇａ－Ａｓ－Ｓｂ－Ｃ－Ｈ五元系中７个相和６８个气相物种。