在硬质合金基底上沉积金刚石薄膜

摘要

采用Ｏ〈，２〉－Ｃ〈，２〉Ｈ〈，２〉火焰沉积法，通过扫描电镜（ＳＥＭ）观察、Ｘ射线能谱（ＥＤＳ）分析和拉曼光谱（Ｒａｍａｎ）分析研究了硬质合金基底中Ｃｏ对在其上沉积金刚石薄膜的沉积过程、成膜质量及粘结效果的影响，并在此基础上提出通过在硬质合金基底表层预植入单晶金刚石来抑制Ｃｏ的影响、提高成膜质量及薄膜与基底间结合强度的有效工艺途径。