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约瑟夫森结衬底台阶的制备

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在约瑟夫森结衬底台阶的制备工艺中，最为主要的是刻蚀束流的入射情况。

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来源
《第三届全国超导薄膜和超导器件学术会议》|1997年|1-7|共7页
会议地点青岛
作者
王晶;
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作者单位

中国电子学会中国制冷学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
高温超导器件;

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