微加热器结构形状的优化设计

摘要

该文通过对气体传感器的基本结构和热传输机理的分析，采用ＡＮＳＹＳ软件模拟计算微加热器温度分布，通过不断改变调整参数可获得温度分布较均匀的微加热器结构的优化设计，以提高气体传感器的灵敏度、选择性和可靠性，延长气体传感器寿命。