原料对氮化铝晶须碳热还原合成的影响

摘要

该文采用不同铝源和碳源进行了氮化铝（AlN）晶须碳热还原合成研究。研究结果表明，铝源对AlN晶须碳热还原形核生长没有明显影响，碳源对AlN晶须碳热还原合成的影响较大。AlN晶须形核与生长的热力学分析表明，AlN晶须形核是以VLS机制进行的，而后期生长则是以VS机制进行的。合成的AlN晶须的形貌和尺寸与铝源的晶型和粒度没有直接关系，而只与晶须合成过程的生长空间和工艺过程有关，并且受到碳源活性的影响。