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屠海令;
中国有色金属学会;
晶体生长; 晶片加工; 硅片; 工艺;
机译:小直径砂轮大尺寸硅片磨削工艺研究
机译:研究大直径硅片的高度平坦表面抛光(工艺条件的优化)
机译:超大直径硅片的超精密形状测量与评估技术研究
机译:通过在CZ-vipler中的大熔体组合使用活性晶体冷却来实现硅片单锭的成本效益生长
机译:在引线键合技术中,研究低k裸片上直径为0.8密耳(20微米)的金键合引线的球形键合完整性。
机译:硅片上带通滤波器用于多路复用高灵敏度光子晶体微腔生物传感器
机译:使用大光束点直径的光子晶体图案的电子束写入
机译:生长适用于压电应用的大晶体aLpO4(柏林)晶体的问题包括研究磷酸铝晶体中孪晶的原因和消除石英型结构的孪晶研究
机译:基于硅的晶体管的变形工艺技术,使用具有大共价半径原子的嵌入式半导体层
机译:通过位移距离保持器来制备晶体管部件以保持具有大ε的栅极堆叠的完整性的工艺,该位移距离保持器用于确定变形合金端部到半导体合金的距离,以及晶体管器件
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