超大口径シリコンウエーハの超精密形状測定·評価技術の研究について

摘要

政府の1998年度第三次補正予算で，材料関連知的基盤緊急整備事業が実施されることとなり，平成11年2乱（社）日本アルミニウム協会（契約時は（社）軽金属協会）より,幣協会がシリコン関係の本件調査を受託しましたので,その概要を紹介します。 をお，調査テーマは，2件あり，調査期間は，両方とも1年2ヶ月の予定です。