制备高质量Ti-N膜的多弧离子镀

摘要

文章研究了多弧离子镀制备了Ti-N膜的重要工艺参数：磁场、弧电流、偏压和氮气流量对膜层质量的影响，详细分析了它们影响膜层特性的原因。实验证明：提高弧电流的同时，抑制液滴的产生，是提高膜层质量，提高生产率的有效途径。