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动态流量法超高真空标准装置

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研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。

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来源
《中国真空学会第五届学术会议》|1998年|38|共1页
会议地点
作者
刘旺奎;
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会议组织
正文语种
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中图分类真空技术;
关键词
动态流量法;

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专利

1. 动态流量法超高真空标准装置 [J] . 李旺奎 ,刘强 ,吕时良 . 真空科学与技术 . 1999,第5期
2. 动态流量法超高真空标准装置的性能测试 [J] . 张涤新 ,吕时良 . 真空与低温 . 1998,第004期
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