对AlAs薄层横向选择氧化速率的研究

摘要

该文详细研究了AlAs选择性湿氮氧化的工艺条件和层厚对AlAs薄层横向氧化速率的影响，得到了可精确控制氧化速率和氧化结果均匀性的工艺条件，并运用湿氮氧化制备出低阈值的InGaAs垂直腔面发射激光器。