用法-珀干涉仪测量偏振干涉仪的非线性

摘要

该文介绍了用于大范围纳米测量的差拍法－珀干涉仪的原理及其特性，包括分辨率、测量范围、非线性误差以及总的测量不确定度。利用该干涉仪与一用于纳米测量的偏振干涉进行了纳米比对实验，实验结果表明，两干涉仪的测量结果有很好的一致性。由于偏振干涉仪有较大的非线性误差，而法－珀干涉仪的非线性误差较小，因此通过比对实验，也得到了偏振干涉仪的非线性误差。