界面演化的三维有限元模拟

摘要

在经典传质理论及其弱解描述下，应用约束变分原理和罚函数法处理了表面扩散过程中的质量守恒要求，建立了描述表面扩散和晶界迁移过程的界面演化三维有限元格式。以沉积在基底上的三晶薄膜的细观演化为例讨论了表面扩散和晶界迁移下的薄膜形貌选择。