超精密轴系设计制造及应用

摘要

超精密回转轴系部件是机床、转台、刻线机及圆度测量仪等设备的主要组成部分，它直接带动工件旋转实现微米级(0.1μm～0.01μm)甚至纳微米级(0.1μm～0.01μm)的超精加工和测量。采用何种最佳的轴承结构及技术能设计制造达到超精密的主轴回转精度，实际应用状况如何，这是该文叙述的主要内容。