有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用

摘要

微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。该文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗，对器件结构设计有很好的指导作用。