高性能偏转放大器的研制

摘要

介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。