硅中氧的分凝系数研究

摘要

硅单晶中氧的浓度取决于其在溶体和晶体中的分凝。该文利用Ｆｏｕｒｉｅｒ变换红外光谱仪研究了硅熔体中氧的分凝，实验指出氧的平衡分凝系数Ｋ〈，０〉小于１，为０．２６，而不是通常认为的大于１。