微驱动机器人机构建模分析

摘要

本文根据纳米级定位系统对微驱动机器人机构设计的要求,介绍了两种典型的压电陶瓷元件为驱动器,以基于弹性变形原理的无摩擦,无间隙的弹性元件为导轨的微驱动机器人.采用解析法和有限元分析法进行建模分析,进一步通过优化处理改进机构参数设计,使系统达到较高的精度和可靠性.

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