用筒形加热器制备双面YBCO超导薄膜

摘要

为了制备双面YiBa<,2>Cu<,3>O<,7-X>(0〈x〈1)超导薄膜，作者设计了一种筒形加热器，对基片辐射加热。采用中空柱状阴极靶直流磁控溅射法。成功的在(001)YSZ基片上均匀制备出双面YBCO超导薄膜。其性能达到Tc≥89K，Jc≥10<'6>A/cm<'2>(77K,0T)，微波表面 电阻Rs〈1m(77K，10GHz)。作者用原子力显微镜对基片衬底进行了分析。