CBD法制备的CdS薄膜结构及性能的研究

摘要

CdS薄膜的结构和光、电性能对CdS/CdTe多晶太阳能薄膜电池有重要影响.本文研究了用CBD法制备的CdS薄膜的结构及其光电特性,着重讨论了退火对薄膜的影响.采用XRD、UV/Vis表征薄膜的晶格结构及禁带宽度,并测量了薄膜的光、暗电导率,计算出电导激活能.首次发现在410℃不加CdCl<,2>热处理的CdS膜出现金属镉.用CdCl<,2>热处理的薄膜,刚沉积时的立方相结构随退火温度的增加和退火时间的延长被破坏,且出现许多非CdS热处理的薄膜,刚沉积时的立方相结构随退火温度的增加和退火时间的延长被破坏,且出现许多非CdS的杂峰.退火后薄膜的晶粒长大,禁带度度变窄,光、暗电导率在退火后分别为10<'-2>～10<'-3>(Ω<'-1>.cm<'-1>)及10<'-3>～10<'-6>(Ω<'-1>.cm<'-1>).