AFM-维线距量测之不确定度估算

摘要

该文叙述一维线距(1D Pitch)之量测方法，其中系使用计量型原子力显微镜（Atomic Force Microscope,AFM)为量测仪器，以一维线距标准件为参考标准，并应用SPIP(Scamming Probe Image Processor)商用软件作分析计算。同时依据国际标准组织(ISO)的“量测不 确定度表示方式指引”(ISO GUM)中所述之方法，作其量测不确定度之估算，分析本量测系 统中之各项不确定度源，及其对不确定度之影响。经实际量测290nm及700nm两年测试片后，并作量测不确定度之估算，取95℅之信赖水准，求得其扩弃不确定度分别为2.2nm及5.2nm。