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电化学在微型机电系统中的应用

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通过列举电化学在微型机电系统中的应用,表明电化学在MEMS的微加工、微型电源和许多基础问题方面皆大有可为,同时微系统的兴起也为电化学提供新的发展机遇.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|33-35|共3页
会议地点上海
作者
田中群; 孙建军; 黄海苟; 程旋; 蒋利民; 田昭武;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类应用;
关键词
微机电系统; 电化学; 纳米加工;

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