SSRF钛升华泵的研制

摘要

正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)准备用钛升华泵作为主抽泵，大抽速钛升华泵作为预研项目之一。我们研制了一个增大钛吸收面的钛升华泵，其钛膜面积达4200cm<,2>，较普通相同尺寸的钛升华泵的钛吸收面要大约3倍。钛升华泵与离子泵配合，极限真空达到～7×10<'-12>torr。对CO的初始抽速达到10001/s以上，对H<,2>的初始抽速大于25001/s。我们还测试了该钛升华泵抽速随吸气量的增大而下降的曲线。用此钛升华泵来抽6米长的铝真空盒，极限真空达到了3.5×10<'-11>torr，而单独用离子泵抽到的极限真空为1.6×10<'10>torr。